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PLR3000非接觸式高精度光纖激光尺分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
更新時(shí)間：2025-06-10
產(chǎn)品型號(hào)：PLR3000
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