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除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，SuperViewW1白光干涉儀品牌具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。

中圖白光干涉儀SuperViewW1利用光學(xué)干涉原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，非接觸測(cè)量樣品表面形貌，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域，用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析。測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉顯微鏡也叫光學(xué)輪廓儀、光學(xué)3D表面輪廓儀、非接觸式粗糙度輪廓儀等，儀器分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可為樣品表面測(cè)量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測(cè)量解決方案。

SuperViewW1高精度白光干涉儀對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌，專(zhuān)用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

SuperViewW1白光干涉測(cè)厚儀是以白光干涉技術(shù)原理，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌，專(zhuān)用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀性能參數(shù)Z向分辨率：0.1nm；Z向掃描范圍：10.3mm；XY水平位移臺(tái)：電動(dòng)手動(dòng)均可調(diào)節(jié)。有自動(dòng)化功能：自動(dòng)單區(qū)域測(cè)量、自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量、多區(qū)域定位自動(dòng)搜索測(cè)量、自動(dòng)拼接測(cè)量；防撞保護(hù)：軟件設(shè)置防撞、硬件傳感器防撞。