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中圖儀器光學表面3d輪廓測量儀以白光干涉技術為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器，用于表面形貌紋理，微觀結構分析，用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等領域。

中圖儀器3D光學輪廓儀器能夠以優(yōu)于納米級的分辨率測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、微觀幾何輪廓、平整度、曲率等，應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。

w1光學3D表面輪廓儀的X/Y方向標準行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。測量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場范圍內從樣品表面底部到頂部逐層掃描，獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像，找到該過程中每一個像素點處于光強大時的位置，完成3D重建。

中圖儀器光學輪廓儀W系列采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高。能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

中圖儀器SuperViewW1光學檢測設備輪廓儀主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓尺寸，此外具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW系列高精密光學輪廓儀由照明光源系統(tǒng)，光學成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構成。以白光干涉技術為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。