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SuperViewW1白光光學(xué)輪廓度測(cè)量?jī)x對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。

中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀SuperViewW1以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。

SuperViewW1白光輪廓儀集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperView W1-Pro3d輪廓形貌掃描儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量?？筛采w8英寸及以下晶圓，定制版真空吸附盤(pán)，穩(wěn)定固定Wafer；氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì)，隔離地面震動(dòng)與噪聲干擾。

SuperViewW1光學(xué)3D輪廓測(cè)量?jī)x是一款用于精密器件及材料表面的亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。只需要操作者裝好被測(cè)工件，在軟件里設(shè)好視場(chǎng)參數(shù)，把物鏡調(diào)節(jié)到被測(cè)工件表面，選擇自動(dòng)聚焦后，儀器就會(huì)主動(dòng)找干涉條紋開(kāi)始掃描測(cè)量。然后自動(dòng)生成工件表面3D圖像，一鍵輸出反映工件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，完成工件表面形貌一鍵測(cè)量。

SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓檢測(cè)儀是以白光干涉技術(shù)為原理的白光干涉儀，測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)，具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)?；诎坠飧缮嬖恚粌H用于零件的檢測(cè)，還是一種在生產(chǎn)中用于檢測(cè)軋制產(chǎn)品表面缺陷的設(shè)備，能完成缺陷尺寸的在線檢測(cè)。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車