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基于白光干涉原理，中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperViwe W1國(guó)產(chǎn)白光干涉儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移算法EPSI，單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型，讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單。廣泛應(yīng)用于3C電子、微納米材料、微機(jī)電、光學(xué)加工、半導(dǎo)體、超精密加工等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數(shù)的測(cè)量和分析。

SuperView W3三維白光干涉形貌儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器，可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的平整度、粗糙度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器白光干涉儀可以設(shè)置分析模板，提供多文件分析、一鍵分析等輔助分析功能，結(jié)合測(cè)量中提供的自動(dòng)測(cè)量和批量測(cè)量功能，可實(shí)現(xiàn)對(duì)精密工件微觀形貌的批量測(cè)量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

中圖儀器的SuperView W1三維白光形貌干涉儀一體化操作的測(cè)量與分析軟件，提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，可實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能。能真實(shí)地反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量。