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SuperViewW高分辨率3d白光干涉儀能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)?？梢詮V泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中，納米材料表征共聚焦顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。它基于光學共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像。

SuperViewW1白光干涉技術(shù)3D測量輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能.

中圖儀器VT6000共聚焦光學測量顯微鏡?是基于光學共軛共焦原理，以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

中圖儀器SuperViewW白光干涉儀摩擦磨損形貌檢測儀非接觸式掃描測量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器NS系列國產(chǎn)探針接觸式臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，用于測量臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)。采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。